コンタクト露光装置／Hap7020i
シートタイプ全自動露光装置
各機構部を見直しスループットの向上やリーズナブルな価格設定を可能にしました。
機能・特長
- 基本性能を維持したまま、装置のコンパクト化を実現
- ■FPCからリジット基板まで幅広く対応
■従来機に対し設置面積15％減
■縦型露光＆ダウンブローでクリーンな環境をキープ
仕 様
- 繰り返し位置合わせ精度
- 3σ＜10um
- 生産性
- 17秒＋露光時間
- 最大基板サイズ
- W640×L540mm
- 光源
- 5kw、1灯
- 照度
- ＞30mw／cm2
- コリメーション半角
- ≦1.5°
- デクリネーション角
- ≦1.5°
- 照度分布
- ≧90%
