コンタクト露光装置／Hap1100ST
フィルムマスクスケーリングシステム搭載ソルダーレジスト用露光装置
ソルダーレジスト露光に適した高照度UV平行光に加え
一括露光機に画期的な「フィルムマスクスケーリングシステム」を搭載！
機能・特長
- ソルダーレジスト工程の課題を解決
- ■基板のスケール変化にフィルムマスクが追従
■高照度によるハイスループット
■フィルムマスク管理が容易
■厚板・重量基板も安定した搬送
仕 様
- スケーリング精度
- ＜10um
- 生産性
- 19秒＋露光時間
- 最大基板サイズ
- W610×L510mm
- 光源
- 10kw、2灯
- 照度
- ＞80mw／cm2
- コリメーション半角
- ≦2.0°
- デクリネーション角
- ≦1.5°
- 照度分布
- ≧90%
